當廢氣進入等離子光氧一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。)
 
然后部分有機廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無毒無害無味氣體。采用紫外線光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質。在紫外線光刺激催化劑涂層產生活性，強化催化氧化作用。在分解過程中產生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV O2→O- O*(活性氧)O O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強的清除效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅菌的目的。
 
2. UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，因游離氧電子正負不平衡所以需要和氧分子結合，形成臭氧，由于臭氧對有機物有極強的氧化作用，所以對惡臭氣體以及異味有很強的清除效果；UV光束也可裂解廢氣中細菌分子，破壞細菌細胞核內核酸（DNA），通過臭氧反應達到除臭與殺菌的作用。
 
光氧設備中還會存在一塊光觸媒版，光觸媒是一種以納米級二氧化鈦為代表的具有光催化作用的光半導體材料的總稱，它涂布于基材表面，在光線作用下，產生催化降解作用：能夠有效降解空氣中有毒有害氣體；能有效殺滅多種細菌，并能將細菌釋放的毒素分解及無害化處理；同時可以釋放一定濃度的負氧離子，進行除臭、 殺菌作用，達到凈化空氣的效果。